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Unser Technologie Know-how in der Herstellung von Mikrospitzen ermöglicht die Realisierung von Spitzen mit unterschiedlichsten Funktionen. So können wir Mikrospitzen aus elektrisch leitfähigem Silizium oder optisch transparenten Dielektrika fertigen. Abhängig vom verwendeten Material und Herstellungsprozess können Spitzenradien von wenigen Nanometern erreicht werden. Über die einfache Spitze hinaus sind wir in der Lage die Mikrospitzen mit zusätzlichen Ummantelungen zu versehen, die wir dann am vorderen Ende wieder öffnen. Dadurch können wir zum Beispiel optisch transparente Spitzen herstellen, die eine Austrittsöffnung für das Licht haben, die deutlich kleiner als die Lichtwellenlänge ist. Außerdem können elektrisch leitfähige Spitzen hergestellt werden, die eine elektrische Abschirmung besitzen. Anwendung: Durch Kombination mit weiteren Prozessen können wir Mikrospitzen zum Beispiel auch auf dünnen Cantilevern fertigen, die dann als Sensoren in der Rastersonden­mikroskopie eingesetzt werden können. Durch die geringen Spitzenradien erreicht man bei Anlegen einer elektrischen Spannung sehr hohe Feldstärken, wodurch sich Anwendungen im Bereich elektrischer Feldemitter ergeben. Auch die Möglichkeit die Spitzen mit einer zusätzlichen Ummantelungselektrode zu versehen, bietet Einsatz­möglichkeiten in der Elektronenoptik.

Der MS5840-02BA ist ein hochgenauer barometrischer Drucksensor und eignet sich für anspruchsvolle Outdoor-Geräte. Der digitale OEM-Sensor, der den Absolutdruck mit hoher Auflösung misst, ist abgeglichen und gibt die Messwerte über eine I²C-Schnittstelle heraus. Der reflow-fähige Sensor ist für den Druckbereich von 10 – 2.000 mbar ausgelegt und mit einem Gelüberzug mediengeschützt. Neben dem Druck misst der Drucksensor die Temperatur von -20 bis 85 °C. Der Drucksensor MS5840-02BA besteht aus einer piezoresistive Druckmesszelle und einem Verstärker-A/D-Interface-IC, das auf einem Keramiksubstrat (3,3 x 3,3 x 1,7 mm³) aufgebaut sind. Der Metallaufsatz schützt die elektronischen Komponenten, erleichtert die O-Ring Mon­tage und macht den Sensor wasserbeständig. Der Sensor wandelt jeweils das gemessene druck- und temperatur­abhängige Signal der Messzelle in ein 16bit Daten­wort. Zusätzlich sind in dem Sensor 6 individuelle Koeffizienten abgelegt, die die hoch ge­naue Softwarekorrektur für die Druck- und Temperaturmessung durch einen externen Mikroprozessor erlauben. Das I²C-Interface dient zur seriellen Kommunikation mit dem Mikroprozessor. Der Sensoren ist für Anwendungen mit einer digitalen Systemumgebung gedacht. Da hier auf Systemebene schon ein Prozessor vorhanden ist, kann dieser zur einfachen Berechnung der aktuellen Druck- und Temperaturwerte benutzt werden. Eigenschaften - Druckbereich: 10 – 2’000 mbar absolut - Temperaturbereich: -20..+85 °C - Auflösung Druck: 0,016 mbar - Auflösung Temperatur: 0,002 °C - Versorgungsspannung 1,5 – 3,6 V - Geringer Stromverbrauch: 0,6 μA (Standby < 0,1 μA) - I2C-Schnittstelle - Keramisches Substrat mit Metallkappe: 3,3 x 3,3 x 1,7 mm³ - RoHS und REACH kompatibel